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磁存儲器刻蝕系統(tǒng)

服務(wù)價格：待定

服務(wù)機構(gòu)：江蘇魯汶儀器股份有限公司

服務(wù)地區(qū)：邳州經(jīng)濟開發(fā)區(qū)遼河西路8號

服務(wù)范圍：電子信息產(chǎn)業(yè)鏈 高端裝備制造集群

服務(wù)類別：技術(shù)創(chuàng)新和質(zhì)量品牌服務(wù)

江蘇魯汶儀器股份有限公司

所在地市：江蘇省,徐州市,邳州市

機構(gòu)地址：邳州經(jīng)濟開發(fā)區(qū)遼河西路8號

聯(lián) 系 人：(請登錄后查看)

電 話：18817835164

  • 詳細介紹

     LMEC-300 / LMEC-200

    l  在一個真空平臺系統(tǒng)中集成了RIE、IBE、in-situ沉積腔室，可實現(xiàn)磁隧道結(jié)和其它難于形成揮發(fā)性產(chǎn)物的金屬/合金疊層的等離子體刻蝕、干法清洗和原位鈍化保護

    l  可提供不同工藝解決方案，滿足磁存儲器、磁傳感器、超導(dǎo)、相變存儲器等新型材料的圖形化需求

    l  可實現(xiàn)20nm及以下的密集器件圖形化

    l  適用于12英寸/8英寸晶圓

     


     


  • 專利介紹
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  • 研究方向
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