全生命周期政策助力 24小時在線服務
一站式融合共享服務助力產(chǎn)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新
財政助力 普惠金融
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互聯(lián)供需 合作直達
云端學習 智慧啟航 云學堂 讓夢想觸手可及
互聯(lián)互通 協(xié)同服務
服務價格:待定
服務機構:江蘇魯汶儀器股份有限公司
服務地區(qū):邳州經(jīng)濟開發(fā)區(qū)遼河西路8號
服務范圍:電子信息產(chǎn)業(yè)鏈 高端裝備制造集群
服務類別:技術創(chuàng)新和質(zhì)量品牌服務
江蘇魯汶儀器股份有限公司
所在地市:江蘇省,徐州市,邳州市
機構地址:邳州經(jīng)濟開發(fā)區(qū)遼河西路8號
聯(lián) 系 人:(請登錄后查看)
電 話:18817835164
LMEC-300 / LMEC-200
l 在一個真空平臺系統(tǒng)中集成了RIE、IBE、in-situ沉積腔室,可實現(xiàn)磁隧道結和其它難于形成揮發(fā)性產(chǎn)物的金屬/合金疊層的等離子體刻蝕、干法清洗和原位鈍化保護
l 可提供不同工藝解決方案,滿足磁存儲器、磁傳感器、超導、相變存儲器等新型材料的圖形化需求
l 可實現(xiàn)20nm及以下的密集器件圖形化
l 適用于12英寸/8英寸晶圓
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