江陰江化微電子材料股份有限公司
江化微主導(dǎo)產(chǎn)品分兩大系列:通用濕電子化學(xué)品和功能性濕電子化學(xué)品。
① 通用濕電子化學(xué)品
通用濕電子化學(xué)品是指在微電子、光電子產(chǎn)業(yè)制造工藝中被大量使用的液體化學(xué)品,主要是各種酸堿和溶劑。酸類有:氫氟酸、硫酸、磷酸、硝酸、乙酸(醋酸)等;堿類有:氫氧化鉀、氫氧化鈉、氟化銨等;溶劑類有:NMP、PGME、PGMEA、乙醇、異丙醇、丙酮等。
② 功能性濕電子化學(xué)品
功能性濕電子化學(xué)品是指通過復(fù)配手段達(dá)到特殊功能、滿足微電子、光電子產(chǎn)業(yè)制造中特殊工藝需求的配方類或復(fù)配類化學(xué)品。主要包括蝕刻液、剝離液、顯影液、清洗液、稀釋劑等。
公司產(chǎn)品質(zhì)量規(guī)格有EL級、VL級、UL級、SL級、XL級;產(chǎn)品包裝規(guī)格有:0.5L、4L、GL、20L、200L、1000L、槽車。公司的產(chǎn)品技術(shù)等級普遍達(dá)到 G2 級(金屬雜質(zhì)含量≤10ppb,控制顆粒(直徑≤0.5μm)≤25個,適應(yīng) IC 線寬*范圍:0.8-1.2μm),另有部分產(chǎn)品達(dá)到 G3 級(金屬雜質(zhì)含量≤1ppb,控制顆粒(直徑≤0.5μm)≤5個,適應(yīng) IC 線寬*范圍:0.2-0.6μm)。目前公司研發(fā)成功G4級(金屬雜質(zhì)含量≤0.1ppb,控制顆粒(直徑≤0.2μm),適應(yīng) IC 線寬*范圍:0.09-0.2μm)和G5級(金屬雜質(zhì)含量≤0.01ppb)。