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基本資料:
  • 姓名陸海亮
  • 最高學(xué)歷博士研究生
  • 性別
  • 畢業(yè)院校上海交通大學(xué)
  • 工作單位江蘇集萃蘇科思科技有限公司
  • 專業(yè)理論物理
  • 聯(lián)系電話登錄后查看
  • 畢業(yè)時間2006-12-19
  • 職 務(wù)研發(fā)總監(jiān)
  • 專業(yè)領(lǐng)域超精密運動控制技術(shù)
  • 單位地址江蘇省蘇州市相城區(qū)高鐵新城相融路588號中荷(蘇州)科技創(chuàng)新港D幢601室(6、7兩層)
  • 專業(yè)技術(shù)資格未評
  • 特殊人才重點領(lǐng)域特殊貢獻人才
  • 取得時間未評
主要工作經(jīng)歷:
申報人在上海微電子裝備(集團)股份有限公司任職產(chǎn)品經(jīng)理期間,成功研發(fā)了微米級、亞微米級及100nm量級掃描步進運動平臺,廣泛應(yīng)用于先進封裝、前道測量及Fanout工藝檢測設(shè)備。同時,他深度參與了國家863項目及02專項90nm光刻機研發(fā),負責(zé)光刻機核心部件物鏡像質(zhì)調(diào)試,并主導(dǎo)像傳感器光電核心部件開發(fā),助力光刻機技術(shù)國產(chǎn)化。期間,他發(fā)表多篇SPIE會議論文,榮獲多項發(fā)明專利及專利成就銀獎。 轉(zhuǎn)至江蘇集萃蘇科思科技有限公司擔(dān)任研發(fā)總監(jiān)后,申報人帶領(lǐng)團隊成功研發(fā)國內(nèi)首臺BFI前道明場晶圓缺陷檢測設(shè)備的國產(chǎn)核心部件,性能指標媲美國外先進產(chǎn)品。同時,自主研發(fā)單軸精度±50nm的超精密氣浮運動平臺,填補國內(nèi)納米級高端運動產(chǎn)品市場空白。 在控制系統(tǒng)研發(fā)領(lǐng)域,他推動團隊開發(fā)出SAXCS高性能實時控制系統(tǒng)和sMA-RT高性能多通道實時控制系統(tǒng),為產(chǎn)品革新提供技術(shù)支持。此外,帶領(lǐng)團隊深入開發(fā)主動隔振與反作用力補償技術(shù)、測試測校和誤差補償技術(shù),顯著提升產(chǎn)品性能和市場競爭力,為公司創(chuàng)造超1億元營收。同時,作為項目負責(zé)人,他主持多項科研項目,獲批經(jīng)費超1000萬元,展現(xiàn)出卓越的領(lǐng)導(dǎo)力和創(chuàng)新能力。
專業(yè)特長或研究領(lǐng)域:
申報人專注于光刻技術(shù)、半導(dǎo)體散射測量、封裝缺陷檢測及超精密運動系統(tǒng)等核心領(lǐng)域,擁有16年半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)及團隊管理經(jīng)驗。其技術(shù)專長覆蓋半導(dǎo)體光刻與檢測設(shè)備應(yīng)用、整機系統(tǒng)開發(fā)、性能建模分析、精密光學(xué)與運動系統(tǒng)研發(fā)等多個維度。 在研發(fā)實踐中,申報人主導(dǎo)了多款檢測設(shè)備中運動臺系統(tǒng)的開發(fā),深入探索了從微米至納米級多自由度運動系統(tǒng)的應(yīng)用需求、架構(gòu)設(shè)計、測試校準等,尤其在精密運動與光電系統(tǒng)融合的研發(fā)上展現(xiàn)卓越能力,有效提升了系統(tǒng)性能,并對運動引起的圖像誤差處理有豐富實戰(zhàn)經(jīng)驗。 技術(shù)亮點包括:1)控制系統(tǒng)設(shè)計與開發(fā),利用模型開發(fā)實現(xiàn)高性能、低延時控制;2)精密運動控制技術(shù),掌握氣浮滑臺與主動隔振技術(shù),確保系統(tǒng)動態(tài)響應(yīng)與運動精度;3)硬件架構(gòu)與嵌入式系統(tǒng)設(shè)計,依托SoC+FPGA架構(gòu)提升產(chǎn)品可靠性和性能;4)控制算法研發(fā),基于模型設(shè)計平臺,達成高效低延時控制;5)在光刻與半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,取得物鏡像質(zhì)測量、散射測量技術(shù)預(yù)研、硅片對準系統(tǒng)研發(fā)及前道IC缺陷檢測、明場檢測、套刻測量設(shè)備等重要成果。
專業(yè)技術(shù)資質(zhì)或榮譽:
1.環(huán)秀湖創(chuàng)新領(lǐng)軍人才 2.相城區(qū)重點創(chuàng)新團隊領(lǐng)軍人才 3.江蘇省產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院集萃研究員 4、江蘇省雙創(chuàng)人才 5、江蘇省科技咨詢專家?guī)?6、蘇州市“最美勞動者”
江蘇集萃蘇科思科技有限公司

機構(gòu)類別:中外合資企業(yè)

所 在 地:江蘇省,蘇州市,相城區(qū)